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真空蝶阀PID自整定算法
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真空蝶阀PID自整定算法 主要实现真空蝶阀气压控制的PID自整定程序编写,要求: 1. 压力控制范围在1*E-8 mbar至1.2bar气压的控制,控制精度≤0.1%设定值; 2. 高气压压力控制稳定时间≤7s; 3. 实现PID自整定功能,可以通过一键学习功能来实现不同腔室和压力设定点及流量值下的调参功能
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